第五届国际先进光刻技术研讨会在佛山开幕 带动国内先进光刻技术发展

• 2021-12-13 10:05:56 来源：珠江时报

12月12日，为期两天第五届国际先进光刻技术研讨会(IWAPS)在佛山开幕，来自国内外的专家学者、行业大咖线上线下齐聚，为佛山集成电路产业发展提供更广阔的发展思路。

广东省工业和信息化厅总工程师董业民表示，佛山是珠江西岸先进装备产业带的龙头城市，高端装备制造业发达，发展半导体装备及零部件等产业优势明显。“广东强芯”工程大力支持佛山布局建设集成电路装备与零部件创新发展区，引进高水平团队和企业，支持省内优势企业和国内外顶级科研机构合作，研发生产高端关键零部件，优化工业软件算法。

“光刻技术是集成电路制造的核心技术。近年来，先进光刻技术不断取得突破和进步，同时带动先进制造装备和材料的快速发展。”大会主席、中国集成电路创新联盟副理事长兼秘书长叶甜春表示，IWAPS今年来到佛山举办，为集成电路产业主管部门、顶尖专家、龙头企业和行业组织搭建了一个交流合作、协同创新的高端平台，带动国内先进光刻技术的发展。

“佛山制造业特点鲜明，拥有小家电、铝型材、建筑材料等类型多样、体量庞大的制造产业集群。”中国集成电路产业技术创新联盟理事长、季华实验室理事长兼主任曹健林认为，希望通过这次峰会，积极为佛山搭建起集成电路产业的人才需求和商业合作平台，在产业领域内倡导和推进差异化发展，根据各自特色强强联合，实现共赢。

传统制造业为主的经济结构，使佛山产业转型升级压力更大，创新驱动迫切性更高。如何推动集成电路等高端技术在佛山和大湾区发展?曹健林建议：第一，从高端技术提供方来说，理应不断深化技术研发能力，降低相应的技术使用成本，从而推动高端技术普及化;第二，从技术承接方来说，要提高技术承接能力，要能“学会用、用得上”，企业首先要“把今天的饭吃好”，要有独立的市场，让自己的产品更有竞争力，这样才能积累更多资金来支撑技术的应用发展。

“集成电路行业的特点是全球合作，希望企业遵循以技术为核心的发展路线，坚定以开放、合作的姿态同国际同行合作，吸收借鉴优秀成果。季华实验室将继续以务实创新的态度，努力在先进光刻配套技术及相关制造装备集成方面贡献力量。”曹健林说。(记者/彭美慈通讯员/关瑶)

标签： 发展思路 光刻技术 龙头城市 电路装备

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